按Enter到主內容區

國家教育研究院 數位出版品資訊網

微電子工程

  • 作者：黃惠良(著)
  • 出版社：五南圖書出版股份有限公司
  • 出版年：89.01
  • ISBN：957-11-1892-3
  • 關鍵詞：積體電路、科技
  POD(Print on demand)即為全書列印，透過數位印刷方式，快速製作與裝訂精美的圖書內容全文。

書籍簡介

本書著者在半導體科技浸淫多年，對矽元件的製作有充分的認識，並對相關的研究有深刻的體會。

章節目次

序號 章節 名稱 頁數 下載 收藏
1 １ 積體電路製作技術簡介 8
2 ２ 晶體製備及量測 24
3 ３ 磊晶 28
4 ４ 氧化暨擴散 48
5 ５ 離子佈植 30
6 ６ 其他絕緣層及複晶矽薄膜的鍍製 24
7 ７ 光罩製版技術 28
8 ８ 蝕刻技術 34
9 ９ 金屬化 20
10 １０ 積體電路製作 24
11 參考資料 參考資料 4

相關書籍

回頁首